刘波,男,1973年11月出生,副研究员。2008年获西安交通大学材料学博士学位。现为四川大学物理技术学院原子核科学技术研究所教师。曾参与国家自然科学基金面上项目(50471035)、重点项目(59931010)和973子项目(2004CB619302)各1项。长期从事等离子体薄膜制备、等离子体材料表面改性以及将理论计算工具应用于薄膜性能表征方面的研究工作。目前已经开展了针对纳电子器件多层铜互连薄膜结构的等离子体制备及相关微观表征的研究工作,研究实践中注重各学科知识的交叉融合。如深入开展了纳米多孔超低介电常数介质薄膜、多孔介质金属盖层薄膜和Cu 膜表面自对准纳米结构层的制备和性能研究,涉及介质物理、等离子体及表面改性、半导体物理和纳米微结构等多个学科领域。发表学术论文十余篇,其中SCI收录9篇。入选2009年度四川大学“青年骨干教师奖励计划”。目前主持在四川省科技厅应用基础研究项目1项。
工作经历
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巴黎第十一大
,基础电子学系(微纳结构及器件研究中心), 2013-10至2014-09
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