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郭抗
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 副研究员
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工作经历
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
副研究员, 2011-12至现在
教育经历
吉林大学
机械, 博士, 2008-09至2011-12
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学科分类
集成电路器件、制造与封装
微纳机械系统
关键词
光刻物镜
压电作动器
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