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朱银芳
四川大学,中国科学院半导体研究所
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生于1984年9月，现任中国科学院半导体研究所，助理研究员。多年从事微纳电子机械系统研究，尤其在微纳谐振子器件加工及性能表征方面积累了丰富的经验。作为主要参与人员参加了科技部863项目、973项目、国家自然科学基金项目和省部级项目共6项，发表高水平学术论文10余篇，申请中国发明专利6项，授权3项。
工作经历
中国科学院半导体研究所
教育经历
四川大学
微电子学, 理学学士, 2003-09至2007-07
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学科分类
微纳机电器件与控制系统
关键词
微机电系统
微纳传感器
生化传感器
射频MEMS开关
MEMS可靠性
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