东南大学MEMS教育部重点实验室主任，参与了我国MEMS/NEMS军民研发计划/规划的制订，根据国家重大需求和国际前沿技术发展，有计划、有步骤的引进与培养队伍，注重与国际一流团队的合作与交流。<br>2015 年 11 月被选为 IEEE Fellow (for contributions to modeling and packaging of microsensors and microactuators) ，到目前为止，是中国（大陆）因在 MEMS/NEMS领域贡献而当选的唯一人。<br>近年创新性成果：<br>①从系统级设计层面，揭示了微机电器件力电耦合、力热电耦合物理本质，发展了等效电路建模方法；②建立了 MEMS 主要工艺模型，软件模块已集成于国际软件并商业化；提出了 MEMS 薄膜力学与热学特性的在线测试结构和方法，该技术已在我国大型骨干企业生产线应用；③解决了风速风向、湿度和气压传感器设计、封装与可靠性关键技术难题，相关技术已推广并进入批量生产；提出了增加 LC 无源无线传感器信号遥测距离的方法。<br>成果统计 [2016.2.12，论文指第一或通讯作者] ：<br>SCI 收录论文 93 篇，IEEE 期刊论文 25 篇；在业界认可的 IEEE JMEMS（双月刊）发表 14 篇，排名中国（含港澳台）第一；论文被 SCI 他引 838 次、单篇最高 SCI 他引 177 次；出版国际丛书 4 章、中文专著 2 部（其中唯一作者/硅微机械加工技术/科学出版社/1996/，已被 CNKI 他引 410 次）；授权发明专利 100 项；在全国性学术会议大会报告 8次、国际会议邀请报告 7 次；获教育部自然科学一等奖 2 项、中国机械工业科学技术一等奖 1 项，均排名 1。<br>国际主要学术兼职：<br>2012-, Member of Editorial Board, Journal of Micromechanics and Microengineering (IOP, UK)<br>2012-2014, Chair of Steering Committee, The Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT).<br>2012, TPC Co-chair, The 7th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (Kyoto, Japan, March, 2012).<br>2012, Vice-chair of Organizing Committee, The 11th IEEE Sensors Conference (Taiwan, October, 2012).<br>2011, Publication Chair, The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS’11), Beijing, China, June, 2011.<br>2009-2015, TPC Member, International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS)<br>2002-2015, TPC Member, IEEE Sensors Conference 2001, Conference Co-chair, SPIE-Microfabrication and Micromachining Process Technology and Devices (Proc.SPIE, vol.4601, Nanjing, China, November 2001).<br>国内主要学术兼职：<br>国家自然科学基金委员会第 13 届信息科学学部专家评审组成员；国务院学位委员会第 7 届学科评议组成员；国家“十二五”863 计划微纳制造技术主题专家组专家（召集人）；科技部“十五”纳米科技重大专项专家委员会微机电及纳加工组成员；国家“十五”863 计划 MEMS 重大专项总体组成员；总装备部微米纳米技术专业组成员(20012015)；《传感技术学报》主编(2005)。