黄森,男,1980年11月生,中国科学院微电子研究所副研究员。2009年获北京大学物理学院博士学位,2009-2012年在香港科技大学电子与计算机工程系做博士后,主要从事Si衬底上GaN基功率电子器件工艺、先进表征技术和器件物理研究。2004年迄今一直从事GaN基材料和器件物理研究,在GaN基增强型HEMT器件以及MIS-HEMT器件的表面钝化和可靠性机理研究方面取得了重要进展。2012年利用等离子体增强原子层沉积(PEALD)低温下在GaN基HEMT上外延出近似单晶的AlN薄膜,突破了传统PECVD-SiN钝化在高压器件电流坍塌效应抑制方面的局限;首次提出利用具有极化特性的钝化薄膜抑制GaN基HEMT器件的表面态充放电概念,得到国际同行的认可。目前主持国家自然基金面上项目一项,发表SCI收录论文50多篇, 包括国际电子器件会议(IEDM),IEEE EDL,IEEE TED,APL,JAP 等主流应用物理和器件学术期刊,论文被引用超过300次,获得授权美国专利一项。
工作经历
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香港科技大学
电子及计算机工程学系, 博士后, 2009-08至2012-08
教育经历
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北京大学
凝聚态物理, 博士, 2004-09至2009-07