集成电路制造工厂的冰水系统阀门维护

作者：白新明; 彭博; 郭静涛^*

来源：集成电路应用, 2021, 38(09): 20-22.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2021.09.010

• 集成电路制造
• 失效分析
• 厂务冰水

基于某集成电路制造企业的厂务冰水系统阀门老化的案例,阐述运用全面质量管理理论(五要素分析法),分析影响阀门老化的因素及对应的预防措施。