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摘要
为实现多通道高灵敏度折射率传感，文章设计了一种含矩形槽(RG)缺陷的方形谐振腔耦合含双挡板金属-电介质-金属(MDM)波导结构。文章采用有限元法计算得到了含四重非对称Fano共振线型的透射谱线及其透射峰值处的磁场模式分布，基于金属挡板产生的宽带反射模与含RG缺陷的方形谐振腔中的窄带谐振模式之间的耦合干涉作用解释了四重Fano共振的产生机理。通过改变方形腔和RG的结构参数实现了对四重Fano共振透射峰位置的调谐。在谐振腔内填充不同折射率的介质时，计算得到该结构透射谱中四重Fano共振透射峰的折射率传感响应灵敏度分别为960、1 120、1 320和1 560 nm/RIU。文章的研究结果可为纳米级高灵敏度多通道折射率传感器的设计提供理论参考。
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