一种高致密、细晶粒钼钽合金及其制备方法

作者：张久兴; 刘大伟; 黄蕾; 潘亚飞; 杨新宇; 王玥皓; 农滨荣; 吴镇旺

来源：2021-12-29, 中国, ZL202111634243.7.

本发明提供一种钼钽合金、其制备方法,以及由该钼钽合金制成的靶材。基于钼钽合金100wt％的总重量,所述钼钽合金中的钽的含量为5wt％,其余为钼以及不可避免的杂质,其中,所述钼钽合金的相对密度为98％～99.60％；维氏硬度为220～360HV-(0.5)；晶粒大小为1～11μm。根据本发明的钼钽合金具有高致密、细晶粒、组织分布均匀,非常适合于制备溅射靶材。

• 单位
  合肥工业大学