激光光热控制触点开关式微驱动机构及实验研究

作者：王乐妍; 刘超; 章海军; 张冬仙

来源：光电子.激光, 2008, 19(11): 1450-1453.

DOI：10.3321/j.issn:1005-0086.2008.11.006

• 触点开关
• 微驱动机构
• 激光光热控制
• 准分子激光

提出了一种新型的激光光热控制触点开关式微驱动机构;对于驱动性能受到形状参数的影响进行了理论分析;采用KrF准分子激光器制备了两种不同长度的微驱动机构;自行搭建的激光光热控制实验系统,采用655nm红色激光作为驱动源,利用该实验系统进行了比较驱动实验,实验结果表明:触点偏转量随着驱动器臂长的增大而增大,同时对于相同长度的微驱动机构,触点偏转量随着驱动激光功率的增大而增大。该新型微驱动机构结构简单,制备快捷,可以采用激光对其实现远距离、非接触控制,集成度高。

• 单位
  现代光学仪器国家重点实验室; 浙江大学