等离子炬焰熔法单晶生长炉温度场分布的仿真模拟

作者：郑道平; 毕孝国; 宋宜璇

来源：沈阳工程学院学报(自然科学版), 2022, 18(01): 91-96.

DOI：10.13888/j.cnki.jsie(ns).2022.01.018

• 等离子炬焰熔法
• 单晶生长
• 温度场

根据等离子炬焰熔法单晶生长结构特征,利用Fluent软件分析了等离子温度、燃气速度、外冷气速度、炉体结构对温度场的影响。结果表明,随着等离子体温度升高,轴向和纵向温度梯度增加,生长室温度整体升高;随着燃气速度的增加,生长界面处轴向和径向温度升高,但热源处径向温度下降;随着外冷气的增加,壁面温度降低;增加到一定数值后,作用减弱。当等离子炬反应器与生长炉的连接处改成带倒角的过渡形式时,生长界面处径向整体温度上升,且在热源温度为6 000 K,燃气速度为0.2 m/s,外冷气速度为0.05 m/s的边界条件下,能生长直径约为10.54 mm的金红石单晶体。

• 单位
  沈阳工程学院