退火工艺对YIG多晶薄膜铁磁共振线宽的影响

作者：金曙晨; 杨青慧; 梅兵; 饶毅恒; 田晓洁; 张怀武

来源：压电与声光, 2015, 37(06): 1053-1060.

• 钇铁石榴石(YIG)
• 快速退火
• 射频磁控溅射
• 铁磁共振线宽(FMR)
• 阻尼系数

主要研究了退火工艺对钇铁石榴石(YIG)薄膜铁磁共振线宽的影响。实验中微米级的YIG薄膜通过磁控溅射法在Gd3Ga5O12(GGG)(111)衬底上制备,并通过750950℃常压常规退火及750850℃真空快速退火两种方式对薄膜进行退火晶化处理。最终系统地研究了薄膜的微观晶体结构、磁性能和铁磁共振线宽性能。研究发现,经过800℃,10 min的真空快速热处理的YIG薄膜磁性能优异,其铁磁共振线宽为2 626.1 A/m@9.3GHz,阻尼系数α=2.077×10-3,薄膜表面粗糙度为1.9nm。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学