针对目前红外波段波长转换存在的损耗大、工艺复杂,以及难以实现波长调谐等缺陷,提出掺杂硅波导结构实现可调谐红外激光输出.通过氧化锌粒子的掺杂破坏硅材料的对称性,减少其有效折射率,增强硅波导内部的非线性效应,实现了中红外波长输出,波长转换范围达到1.55～2.85μm.进一步研究发现,改变粒子掺杂密度可实现中红外激光波长可调谐输出,调谐范围可达225 nm.掺杂波导具有体积小、结构稳定等优势,该掺杂手段为实现集成波长调谐器件提供了新方法.
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