剪切干涉仪精密相移系统的研制

作者：于长淞; 代雷

来源：国外电子测量技术, 2014, 33(12): 57-60.

DOI：10.19652/j.cnki.femt.2014.12.014

• 相移干涉
• 精密相移系统
• 压电陶瓷驱动器
• 柔性铰链
• 闭环控制

设计了一种用于迈克尔逊干涉仪横向剪切相移测量的精密相移系统。该系统采用压电陶瓷驱动器作为驱动元件,通过柔性铰链平移机构推动反射镜实现无摩擦、无间隙微位移。采用电容传感器进行位移反馈测量,利用单片机系统作为中央处理器进行PID闭环控制以实现高精度相移。对相移系统的行程及定位精度进行了测试,当输入阶跃位移信号为80nm时,相移系统输出位移精度小于3nm。当相移系统连续位移2μm,每步位移为80nm时,其输出位移的定位精度小于5nm。实验结果表明,相移系统的行程与定位精度满足剪切干涉仪设计要求。

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室