摘要

<正>近年来,随着全球贸易摩擦持续加剧,半导体作为信息产业的基石成为各国竞争的焦点。2022年8月,美国发布《芯片与科学法案》,投资半导体产业发展,重振制造业。相较于第一代和第二代半导体材料,以氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)为代表的第三代半导体材料因其高频、耐高压、耐高温、抗辐射能力强等优越性能,