自检式石英振梁加速度计的极板间距研究

作者：胡佳佳; 梁金星^*

来源：传感器与微系统, 2020, 39(11): 25-32.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2020)11-0025-04

• 自检式
• 石英振梁加速度计
• 吸合
• 极板间距

极板间距与自检式石英振梁加速度计的自检性能密切相关。过大的极板间距影响器件的工程化,过小的极板间距无法满足器件工作位移,因此极板间距是设计自检式石英振梁加速度计的关键。针对该问题,建立了理想静电驱动模型与吸合模型。通过理论分析和仿真优化,获取临界吸合电压函数。同时,研究了电压对两种模型加速度的影响,并对两者误差进行分析。最终得出极板间距与所能模拟加速度最大值呈现线性关系。提出了极板间距设定流程,并证明极板间距为19μm时,自检式石英振梁加速度计自检性能最佳。

• 单位
  东南大学