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摘要
扫描离子电导显微镜(SICM)能够实现微纳米级的形貌测量，引起广大学者的关注研究。针对SICM形貌图像易受噪声污染，影响后续应用的问题，提出了一种基于小波分层阈值处理的双边滤波算法。针对SICM形貌图像的多特征融合噪声，采用伪中值滤波局部处理图像中的强斑点噪声，有机结合小波阈值去噪和双边滤波去除图像高频和低频噪声，最终得到去噪效果较好的形貌图像。通过仿真实验和实测实验进行多次验证，该算法对比中值滤波、双边滤波和小波去噪3种去噪算法，其峰值信噪比提升幅度均大于9.8%。实验表明该算法在SICM形貌图像去噪方面具有更大优势。
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