摘要

<正>以纳米科技、新材料技术等为基础的纳米产业是全球新一轮科技革命和产业革命的核心,是各国抢占的战略制高点。纳米计量是纳米产业发展的基础,纳米几何特征参量计量标准器是纳米计量的基石,是量值传递的关键载体。目前,纳米几何特征参量计量标准器基本被国外垄断,虽然中国计量科学研究院已建立了纳米几何量国家计量标准装置,实现了直接溯源,并成功研制了400nm一维栅格和系列纳

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