多晶硅循环氢中氮含量升高原因及解决措施

作者：付强; 杨典; 路向飞; 张晓伟; 耿乐康

来源：云南化工, 2022, 49(08): 131-147.

• 多晶硅
• 循环氢
• 氮含量

分析了多晶硅生产过程循环氢中氮含量升高的原因。从三氯氢硅供料、还原工序工艺优化调整、压缩机检维修投用等方面采取了措施，有效降低了循环氢中氮含量，提高了循环氢气的质量，有助于提升多晶硅产品的品质。

• 单位
  洛阳中硅高科技有限公司