集成电路制造工艺的质量管理分析

作者：王柱

来源：集成电路应用, 2022, 39(06): 38-40.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2022.06.014

• 集成电路
• 制造工艺
• 质量管理

阐述集成电路制造工艺技术，包括微细加工技术、电路互联技术、集成电路后道制造工艺技术，探讨集成电路制造工艺质量管理中的问题和应对措施。

• 单位
  浙江大学