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摘要
为提高硅微谐振式加速度计在变温环境下的精度与稳定性，设计并制备了一种高精度的片上温度控制器，它由硅衬底、铂电阻加热器、测温电阻和温度控制电路组成。对温度控制器的传热模型进行理论分析，使用COMSOL对片上温度控制器进行仿真。利用微加工技术制备温度控制器，并设计实验对温控精度、长期稳定性、环境温度影响、功耗等指标进行测试。结果表明，温度控制器可以在600 s内稳定在设定温度±0.001 5℃的范围内，加速度计输出的频率波动范围为±0.03 Hz,内部温度随外界温度变化为0.012 5℃/℃,片上温度控制器的峰值功耗为100 mW。该温度控制器精度高、通用性强，适用于温度范围小、精度要求高的应用场景。
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单位传感技术国家重点实验室; 中国科学院大学
