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摘要
针对PLZT陶瓷光致形变直接驱动响应速度较慢的问题，提出了一种光电-静电复合驱动MEMS悬臂梁的新型驱动方式。阐述了光电-静电驱动悬臂梁的驱动机理，并建立了光电-静电驱动悬臂梁的静态模型；利用平行板电容器原理，推导出光电-静电复合驱动悬臂梁的挠度与静电力之间的微分方程，并得到悬臂梁自由端挠度的解析表达式；建立了光电-静电场大小及位置分布的数学模型，并分析了光照强度、静电场分布位置和静电场区域大小对悬臂梁自由端挠度的影响规律。悬臂梁自由端挠度与光照强度、静电场远离固定端的距离、静电场区域大小成正相关变化。
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单位中兴通讯股份有限公司; 金陵科技学院; 南京理工大学
