一种多层印刷改善溶液法氧化锆绝缘层性能的方法

作者：宁洪龙; 蔡炜; 姚日晖; 陶瑞强; 陈建秋; 朱镇南; 魏靖林; 刘贤哲; 周尚雄; 彭俊彪

来源：2018-07-26, 中国, CN201810834034.9.

本发明属于显示器件技术领域,公开了一种多层印刷改善溶液法氧化锆绝缘层性能的方法。将ZrOCl2·8H2O溶于乙二醇单甲醚与乙二醇的混合溶剂中,配置浓度为0.3～0.6mol/L的前驱体溶液；在玻璃基板表面沉积一层图形化的ITO底栅,清洗烘干,得到ITO玻璃衬底；在ITO玻璃衬底上喷墨打印所得前驱体溶液,重复印刷过程2～3次,然后退火处理得到氧化锆绝缘层薄膜,最后通过磁控溅射镀Al电极,得到氧化锆绝缘层薄膜器件。本发明通过简单的重复印刷工艺,不需要改变溶液成分和印刷工艺,便可显著降低印刷氧化锆绝缘薄膜的缺陷和漏电流,对溶液法加工绝缘薄膜有重要意义。

• 单位
  华南理工大学