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摘要
密封连接石英玻璃被广泛应用于航空航天、半导体加工以及微机电系统真空连接等领域。改进的低膨胀Li2O-Al2O3-SiO2(LAS)系微晶玻璃可以用于封接石英玻璃，但存在流动性不佳的难题。本文通过掺入WO3对LAS系微晶玻璃进行改性，利用线膨胀系数分析仪、差示扫描量热仪、X射线衍射仪、高温烧结影像仪、扫描电镜，研究了掺入WO3后LAS玻璃封接石英玻璃的机理。结果表明：WO3对LAS玻璃的析晶产生先增强后削弱的影响；WO3掺量越大，热膨胀系数越大，当掺量达到5.0%(质量分数)时，热膨胀系数提升至5.69×10-7℃-1;流动性与润湿性随着掺量增加而提升，铺展面积随掺量增加而增大，润湿角随掺量增加而减小，有效改善了LAS玻璃本身流动性不足的问题；LAS玻璃与石英玻璃之间主要是通过化学元素迁移实现封接。
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