波纹管泵与阻尼器耦合作用动力学分析与降脉动设计

作者：薛飞; 袁仕芳; 胡亮; 苏芮; 付新^*

来源：微纳电子与智能制造, 2022, 4(01): 82-87.

DOI：10.19816/j.cnki.10-1594/tn.2022.01.082

• 波纹管泵
• 阻尼器
• 吸收脉动

波纹管泵是半导体湿法制程中实现工艺介质输送的关键零部件,但其采用往复式泵送原理,导致泵液流量与压力脉动较大,限制了其在先进制程的应用。在泵出口加装脉动阻尼器是降低泵液脉动的有效途径,但目前仍缺乏系统的动力学分析与设计方法支撑。本文首先对波纹管泵与脉动阻尼器的耦合作用进行动力学数值模拟,进而揭示阻尼器各关键参数对脉动吸收能力的影响规律,最终通过参数优化实现脉动降低,并通过样机性能测试验证了其有效性。

• 单位
  浙江大学; 流体动力与机电系统国家重点实验室; 浙江启尔机电技术有限公司