设计了一种可以实现二维风速测量的电容式纤毛传感器，其特点为通过差分电容检测流速，传感器运动结构所对应的背硅被完全刻蚀。采用有限元分析软件，通过流体-固体-静电场的多物理场仿真，分析得到了传感器的差分电容与风速的变化关系。结合电容传感器AD7746的理论精度，计算得出传感器的风速灵敏度为0.25 mm/s。此外，设计了基于SOI硅片的传感器微加工制备的工艺流程。
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