复合式热屏对Φ200mmCZSi单晶生长速率和氧含量的影响

作者：任丙彦; 赵龙; 傅洪波; 曹中谦; 张学强

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2005, (09): 1764-1767.

• 热屏
• 氧含量
• 温度梯度
• 拉速 heat shield
• oxygen concentration
• temperature gradient
• pull speed

对Φ200mm太阳能CZSi单晶生长的传统热场进行了改进,施加了复合式热屏.对改进前后热场温度梯度、单晶氧含量进行了实验分析,并对该系统的氩气流场进行了数值模拟.研究了复合式热屏影响拉速和单晶氧含量的机理.实验表明本文采用的复合式热屏和氩气流场可以提高拉速,降低硅单晶氧含量.

• 单位
  材料学院; 河北工业大学