光刻机巅峰对决

作者：刘芮; 邓宇

来源：中国工业和信息化, 2020, (07): 72-76.

DOI：10.19609/j.cnki.cn10-1299/f.2020.07.012

<正>站在EUV LLC的肩膀上,背靠美国支持,又有客户送钱,阿斯麦正式成为"全村的希望",在摘取EUV光刻机这颗宝石的道路上狂奔。而一代霸主尼康,自此彻底零落在光刻机制造史的尘埃之中。在芯片领域,有一种叫光刻机的设备,不是印钞机,却比印钞机还金贵。历数全球,也只有荷兰一家叫做阿斯麦(ASML)的公司集全球高端制造业之大成,一年时间造得出二十台高端设备,台积电与三星每年抢破了头,中芯国际足足等了三年,也没能将首台EUV光刻机迎娶进门。