一种硅肖特基结线阵列近红外光电探测器

作者：陈士荣; 谢泽宇; 刘皓文; 温国华; 耿闯; 于永强

来源：2021-04-22, 中国, ZL202110434623.X.

本发明公开了一种硅肖特基结线阵列近红外光电探测器,是以单晶硅为衬底,在单晶硅上表面刻蚀有六边形硅微孔阵列、下表面填充有二维MXene材料。本发明所制备的探测器实现了窄带近红外响应,具有响应速度快,稳定性好,探测率高等优势,同时还具有易制备、兼容性强、高集成度等优点。

• 单位
  合肥工业大学