厚度对磁控溅射CoPt永磁薄膜磁性能的影响

作者：包忠; 杨云

来源：磁性材料及器件, 2018, 49(01): 10-22.

DOI：10.19594/j.cnki.09.19701.2018.01.003

• CoPt永磁薄膜
• 磁控溅射
• 薄膜厚度
• 磁性能

CoPt永磁薄膜有较高的剩磁和矫顽力,通常用作磁传感器中的磁偏置或者微机电系统(MEMS)中的磁制动部件。CoPt薄膜多采用磁控溅射或离子束沉积工艺制备。采用磁控溅射制备了不同厚度CoPt/Cr薄膜。结果显示,CoPt薄膜矫顽力随薄膜厚度增加而降低;薄膜较厚时(大于400?),剩磁随薄膜的厚度增加而降低。这主要是因为CoPt薄膜具有密集六方结构,其自然生长为(002)面,具有垂直各向异性。由于Cr缓冲层存在,CoPt薄膜较薄时沿(1010)面生长,从而具有面内各向异性;但随薄膜厚度的增加,薄膜会沿(002)生长从而具有垂直各向异性,导致薄膜磁性能降低。

• 单位
  中国船舶重工集团公司第七一〇研究所; 中国船舶重工集团公司第七〇一研究所