针对压电精密定位系统的控制精度与实时性问题,构建了压电致动器的静态特性和动态特性模型,并通过实验对其进行了验证。同时提出了一种基于压电精密定位系统的模糊控制方法,设计了压电致动器的模糊控制器,仿真测试结果表明:系统阶跃响应稳态误差小于0.15μm,峰值时间约为1.2ms,调节时间小于1.5ms。