大尺寸、高分辨率TFT-LCD TV产品短路型线不良原理与分析方法

作者：林敏; 刘子源; 魏炎; 刘斌; 杨子铭; 郑双; 贾倩; 张燕洁; 安扬; 孙栋; 何祥

来源：电子世界, 2019, (07): 31-35.

DOI：10.19353/j.cnki.dzsj.2019.07.010

<正>大尺寸、高分辨率TFT-LCD TV产品因栅极绝缘层均一性差与异物残留等导致Data线、Gate线与Com线在交叠区短路、击穿,在面板显示区域内造成线型功能性不良;以往的研究多聚焦于线不良的发生比率、现象及改善措施,对此类线不良分析方法与发生机制研究较少;因此,借助聚焦离子束-能谱(FIB-EDS)等现代分析技术,依据微区形貌、成分、衬度等信息,研究大尺寸、高分辨率TFT-LCD TV产品短路型线不良原理、微区异物成分分析方法、线不良发生的关键膜层,对大尺寸、