无失效数据的MEMS传感器可靠性分析

作者：佐磊; 孙洪凯; 何怡刚; 尹柏强; 胡小敏

来源：电子测量与仪器学报, 2019, 33(06): 69-75.

DOI：10.13382/j.jemi.B1901966

• Bayes
• 可靠性
• 无失效数据
• 失效率
• MEMS传感器

为了解决有限试验次数情况下微机电系统(MEMS)传感器的无失效数据可靠性分析问题,针对寿命服从指数分布的MEMS传感器,通过研究最优置信限法和最小二乘估计这两种方法来获得适用于MEMS传感器无失效数据可靠性分析的置信度α、c(c>1为常数)。分析试验组数对于预测分析结果的影响,通过对两种方法进行不同分组试验,获得MEMS传感器的最佳分组数。针对某数字型双轴倾角MEMS传感器的实际算例表明置信度α=0. 4、c取值范围3～6,分组为12/13组时,得到最佳预测结果,证明了所提出方法的有效性。

• 单位
  自动化学院; 武汉大学; 合肥工业大学