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摘要
本发明公开了一种基于模型预测控制的电感耦合等离子体产生系统的整定方法,是以鲁棒稳定性条件、输出的稳态误差判决门限为约束,以最小化不同不确定性等级下的最大输出震荡量为整定目标,根据稳态误差判决门限和不同的电感耦合等离子体产生系统真实模型的不确定性等级自动获取最优整定参数。先建立电感耦合等离子体产生系统的名义数学模型；设计模型预测控制器,构造带约束的代价函数,确定模型预测控制器的整定参数；然后确定电感耦合等离子体产生系统的真实传递函数模型的不确定性等级及灵敏度函数边界值；最后以输出的稳态误差判决门限为约束,确定满足稳态误差和鲁棒稳定性条件的模型预测控制器的整定参数,提升了系统的时域输出性能。
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