MOCVD原位监测系统的设计与实现

作者：徐龙权; 许冬; 刘新卫; 方颂

来源：华侨大学学报(自然科学版), 2018, 39(02): 210-213.

• 原位监测
• TSM320F28335
• 金属有机化合物化学气相沉积
• 数据采集
• 数据处理
• 人机界面

设计以TSMF32028335和AD7656为核心的数据采集与处理系统,采用以太网芯片W5300实现开发板与上位机的TCP/IP通信.作为监控端的上位机,采用通过Delphi开发的集数据处理、存储、显示与监控于一体的平台,且具有良好的人机交互界面.应用于自主研发的金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)设备,测试结果表明:该设计具有采集数据准确、通信快速稳定、人机界面友好、程序运行流畅的特点,完全符合工程控制要求.

• 单位
  南昌大学; 国家硅基led工程技术研究中心; 南昌大学信息工程学院