蓝宝石衬底上槽栅型X波段增强型AlGaN/GaN HEMT

作者:顾国栋; 敦少博; 郭红雨; 韩婷婷; 吕元杰; 房玉龙; 张志荣; 冯志红
来源:半导体技术, 2019, (06).