对高熵合金CoCrCuFeNi进行30%形变及退火处理,分析了合金的点阵结构和晶粒形貌变化,并进行了硬度测试。结果表明,CoCrCuFeNi合金的部分树枝晶在冷形变后发生弯曲,硬度提高;退火后合金晶粒部分二次枝晶臂消失,硬度明显降低;高熵合金CoCrCuFeNi形变后退火在一定程度上促进了富铜相的溶解和原子的扩散。