一种CVD沉积速率、产物织构和质量跨尺度预测方法

作者：关康; 曾庆丰; 卢振亚; 吴建青; 刘建涛; 冯志强

来源：2020-11-04, 中国, ZL202011213889.3.

本发明提供CVD沉积速率、产物织构和质量跨尺度预测方法,S1建立反应器几何模型和划分网格；添加材料属性；S2建立多物理场模型,建立流体传热和层流模型,计算温度场和流场；S3建立化学和多组分物质传递模型,将先驱体气体反应输入模型,计算化学反应和浓度场分布；S4计算沉积表面浓度,与上一次总迭代计算的结果进行对比,满足收敛要求,流程结束；否则将表面浓度结果输入KMC模型进行下一次迭代；S5构建原子结构,确定表面反应；S6计算吸附、扩散速度,确定一步的原子结构与反应时间；S7若原子结构满足要求厚度,则返回S2；否则返回S5继续迭代计算。在本发明的基础上进行沉积工艺参数的优化,得到沉积产物织构可控,质量好的CVD产品。

• 单位
  华南理工大学