为了解决激光振镜加工畸变校正过程中人工测量效率低、精度差的问题,提出一种视觉辅助的畸变校正和精度测量方法。该方法分析了误差来源,建立了畸变数学模型,采用螺旋式填充圆标刻配合最小包络圆检测获取振镜系统误差特征描述,用曲线拟合或线性插补算法补偿误差,最后采用误差标准测量点阵进行精度标定。实验结果表明,该方法可以消除86%图形畸变,平均相对误差为7×10-4,提升了校正精度和校正效率。