2015年前三季中国大陆13类半导体设备进口情况

来源：电子工业专用设备, 2015, 44(11): 61-62.

• 设备进口
• 化学气相沉积
• 化学沉积
• 搬运机器人
• 电炉
• 单晶炉
• 中国大陆

<正>2015年1-9月13类半导体设备进口12 381台,与去年同期相比增长13.2%,进口金额为35.63亿美元,与去年同期相比减少1.2%。其中,化学气相沉积设备进口额最高,达到9.42亿美元。IC工厂专用自动搬运机器人增长最快,进口金额同比增长45.4%,硅单晶炉进口