爆炸压实烧结ITO陶瓷靶材的实验研究

作者：李晓杰; 张越举

来源：稀有金属材料与工程, 2005, 34(03): 417-420.

DOI：10.3321/j.issn:1002-185X.2005.03.020

• 爆炸压实烧结
• ITO
• 陶瓷靶材 ECS
• ceramic target
• ITO

通过爆炸压实烧结纳米ITO 粉末制备了ITO 陶瓷靶材,结果表明爆炸冲击压实在靶材的后续烧结密实过程中起到了促进作用,它与常规的加压烧结相比,具有操作简单,设备要求低等很多优点。经过爆炸压实的烧结靶材具有细小的晶体颗粒,比商业靶材的晶粒度小约1 个数量级。

• 单位
  工业装备结构分析国家重点实验室; 大连理工大学