常压下铌掺杂二氧化钛薄膜的制备与光学性能研究

作者：黄俊宇; 瞿小林; 秦源涛; 樊俊良; 严惠; 吴非凡

来源：功能材料与器件学报, 2023, 29(04): 281-286.

DOI：10.20027/j.gncq.2023.0031

• TiO2薄膜
• 光透过特性
• 光致发光
• 铌掺杂
• 超声雾化热解喷涂法

本文以Nb掺杂TiO2为研究对象，以获得更高结晶性、光学特性的TiO2为目标，通过超声雾化热解喷涂法，在常压下成功制备出掺杂Nb的TiO2薄膜。本文研究了TiO2结晶性能、光谱吸收性质以及光致发光强度的影响规律，探索了提升掺杂TiO2的性能可能途径。实验结果表明：铌掺杂二氧化钛薄膜，在(101)晶面上具有一定的优先取向，当掺杂浓度达到5%,表现出最佳结晶性能；随着掺杂浓度的提升，样品的光透过率呈现出先上升后下降的趋势，当掺杂浓度达到5%时，表现出最佳光学性能，光致发光强度总体表现良好，但随着掺杂浓度的上升，总体呈现出下降趋势。掺杂浓度对二氧化钛薄膜的性能产生显著影响，当Nb掺杂浓度5%时，各项性能均表现良好。

• 单位
  重庆理工大学