微纳加工与表征技术在高性能集成有机光电器件研究中的应用

作者：朱文昌; 吴海华

来源：中阿科技论坛(中英文), 2022, (09): 121-127.

• 微纳加工与表征技术
• 高性能
• 高集成度
• 有机光电器件

微纳加工与表征技术是实现高性能集成光电器件的必要手段。基于有机半导体的光电器件具有可柔性化、低成本以及可溶液法制备的优势，可广泛应用于光探测、信息显示、健康监测、智能穿戴设备等领域。文章通过介绍可用于制备高性能集成光电器件的主流微纳加工与表征手段和技术原理，综述了其在高性能集成有机光电器件研究中的重要进展，结合研究实例对比分析了不同微纳加工与表征手段在实际研究中的优劣点。