折线型IDT的SAW微力传感器设计研究

作者：马连杰; 李媛媛^*; 江蓓; 曹乐

来源：电子测量与仪器学报, 2021, 35(04): 39-45.

DOI：10.13382/j.jemi.B2003358

• 声表面波
• 传感器
• 叉指换能器
• 有限元分析
• 质量灵敏度

声表面波(SAW)微力传感器易于集成和小型化,无源无线的工作方式,具有极大的应用潜力。将其应用于物体间微间隙压力检测有望实现高灵敏、低功耗的监测水平。针对复杂环境中存在的测量灵敏度问题,设计了一种具有折线形状的叉指换能器(IDT)的SAW微力传感器。采用有限元分析方法(FEM)对其进行了仿真分析和结构参数设计。理论分析与实验表明,设计的传感器质量灵敏度可达284.16 kg/m2,高于直线形IDT的SAW传感器185.97 kg/m2,验证了此结构能够有效提高器件的质量灵敏度,及在微间隙环境下压力监测的可行性。

• 单位
  上海工程技术大学