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摘要
目的 为了解决现有电解加工技术中难以使用同一装置在多种型面零件表面一次性大面积制备高精度微坑阵列的现状。方法 提出一种可用于多种型面零件批量加工微坑阵列的线阴极滚印式掩膜电解加工技术，设计了一种滚筒式掩膜复合线阴极的阴极工具装置，采用铜丝(直径500μm)作为阴极，图形化的聚氯乙烯(PVC)作为掩膜，在10%NaNO3电解液、0.1 mm极间间隙条件下，在不锈钢304材料工件表面进行电解微坑试验，探究电压、阴极工具旋转速度、阴极尺寸对加工微坑阵列形貌的影响，通过超景深显微镜、扫描电子显微镜以及奥林巴斯显微镜对电解后的工件试样表面进行表面微观形貌观测。结果 选用10.5 V的电压、0.2 r/min的旋转速度可在工件表面加工出高精度、高一致性的微坑阵列，其微坑直径分布范围为402.8～440.3μm，深度范围为66.2～74.2μm，微坑粗糙度范围为0.42～0.83μm。与传统的圆环型阴极电解加工结果对比，线阴极电解加工出的微坑阵列直径偏离掩膜孔尺寸小、定域性高。结论 使用线阴极滚印式掩膜电解加工方法可在不锈钢304材料工件平面、内圆柱面及外圆柱面制备大批量、高精度、高一致性的微坑阵列。
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