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摘要
为了解决扫频过程中隔振器不能很好地隔离扫频频率在0Hz和固有频率之间的平台基座惯性力的干扰,提出一种双级驱动主动隔振系统的可调反共振频率控制器。对双级驱动主动隔振系统的运动学模型、可调反共振频率控制器及参数设计等进行了研究。首先,根据设计的双级驱动主动隔振系统建立其运动学模型。接着,基于系统的反共振频率特性提出了可调反共振频率控制器及其参数设计。然后,分析可调反共振频率控制的隔振性能。最后,搭建实验平台进行实验验证。实验结果表明:从0到初始反共振频率,闭环传递率小于-15 dB。此外,通过改变控制器的参数,附加的反共振频率可以在0 Hz和初始反共振频率之间调节。且在附加反共振频率附近,闭环传递率小于-30 dB。利用该控制器,有效载荷的扰动幅度从4 mm·s-1衰减到0.5 mm·s-1,平台基座的冲击扰动降低了87.5%。双级驱动主动隔振系统配合可调反共振频率控制器可以通过跟踪扫频干扰实时调整反共振频率点,可应用于半导体制造业超低振动要求的扫频环境,达到良好的隔振效果。
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