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摘要
本发明公开了一种高效的钙钛矿超材料太赫兹调制器件及制备方法,主要解决现有太赫兹调制器件灵敏度低和制备工艺复杂的问题。自下而上包括衬底(1)和周期性排布的铝开口谐振环单元(2),每个铝开口谐振单元的开口为不对称分布的两个,其开口间隙为2-4μm,每个开口之间填充有厚度为40-80nm的钙钛矿材料(3),铝开口谐振环单元(2)的表面也覆盖有同样厚度的钙钛矿材料,使用中,可通过光泵浦改变钙钛矿填充材料的电介质性质来改变等效电容,实现对太赫兹波段的谐振频率和振幅透过率调制。本发明工艺简单,调制灵敏度高,应用场景更宽,可用于短距高速宽带通信、超分辨率武器制导、生物传感、医学成像、材料特性检测和安全检查。
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