在大多数的真空环境的科学试验中,多数都会用到光学器件,而在真空环境中,粒子的运动自由程非常大,一旦真空环境中存在粒子化(分子、离子、原子、粒子团)的工作物质或附带杂质,都会对光学元件造成污染从而破坏光学器件的特性,大大减小光学器件的使用寿命,本文主要提供一种装置和方法,可以确保光学器件的使用寿命,维持光学器件的自身特性。
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