用于药物传输的MEMS平面金属微针

作者：闫肖肖; 沈修成; 刘景全; 王亚军; 孙文强; 徐宇虹

来源：纳米技术与精密工程, 2009, (5): 419-422.

DOI：10.3969/j.issn.1672-6030.2009.05.008

• 微针
• 微机电系统
• 药物传输
• 电镀
• 同平面

介绍了传统给药方式的局限性、微针应用于新的药物传输方式--透皮给药的优点以及微针的特点,并提出了一种基于微机电系统技术制作同平面金属微针的方法.采用该方法可制备实心微针和空心微针.这两种金属微针均采用电镀技术制作,既降低了成本又提高了微针的强度.微针为楔形,边缘比较光滑,针尖有较锋利的尖端,改善了刺入皮肤的效果;针体长度400 μm,厚度50μm,其中空心微针中的微流道宽度为50 μm.此类微针

• 单位
  上海交通大学; 薄膜与微细技术教育部重点实验室; 微米/纳米加工技术国家级重点实验室