乙醇辅助激光烧蚀切割硅晶圆工艺

作者：田文涛; 刘炜程; 孙旭辉; 郑宏宇; 王志文^*

来源：红外与激光工程, 2022, 51(04): 276-283.

• 激光切割
• 硅
• 乙醇
• 气泡
• 表面质量

为了减小激光切割硅晶圆时的热效应，选择去离子水作为辅助液体进行激光切割实验，研究了水下切割时激光烧蚀激发气泡对硅片表面造成的不良影响。为解决水下激光切割进程中诱导气泡大面积粘结在硅片表面的问题，提出了去离子水混入乙醇溶液的实验方案，分析了水下激光切割中激光参数和乙醇浓度对切割质量的影响。实验结果表明，采用乙醇溶液作为辅助介质能明显减少粘结气泡的数量，减轻气泡破溃冲击带来的负面影响。实验采用乙醇浓度5 wt.%时切割得到的硅片比纯水中切割得到的硅表面影响区减小50%以上、切缝宽减幅约20%，有效提升了激光切割质量。

• 单位
  山东理工大学