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摘要
以不同粒径的氮化硅粉为原料，采用异丁烯-马来酸酐共聚物凝胶注模成型制备多孔氮化硅陶瓷，研究不同粒径氮化硅颗粒在异丁烯-马来酸酐共聚物水溶液中的分散性及氮化硅颗粒浆料的流变性能，对烧结样品的物相、微观形貌和结构以及介电性能进行表征与分析。结果表明：粒径小于0.5μm的氮化硅颗粒在异丁烯-马来酸酐共聚物水溶液中更易团聚而沉降，氮化硅颗粒浆料的黏度、切应力比粒径为1～3μm的氮化硅颗粒浆料的大；不同粒径原料制备的氮化硅陶瓷的主晶相为α-氮化硅和β-氮化硅，样品的烧结收缩率、密度差异较小，孔隙率约为20%,抗弯强度均大于400 MPa。
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